壓力傳感器在汽車(chē)上的使用
壓力傳感器工作原理片面
壓力傳感器可以廣義地分為三類(lèi):壓阻式壓力傳感器、電容式壓力傳感器和壓電式壓力傳感器。
底下,本文將先介紹壓阻式壓力傳感器的工作原理,再介紹使用于汽車(chē)的MEMS技術(shù)智能化硅壓阻式壓力傳感器的工作原理。
壓阻式壓力傳感器
壓阻式壓力傳感器的壓力敏感元件是壓阻元件,它是基于壓阻效應工作的。所謂壓阻元件實(shí)際上即是指在半導體質(zhì)料的基片上用集成電路工藝制成的分散電阻,當它受外力好處時(shí),其阻值由于電阻率的變更而轉變。分散電阻平常工作時(shí)需依附于彈性元件,常用的是單晶硅膜片。
壓阻芯片采用周邊固定的硅杯布局,封裝在外殼內。在一塊圓形的單晶硅膜片上,安插四個(gè)分散電阻,兩片位于受壓應力區,另外兩片位于受拉應力區,它們構成一個(gè)全橋測量電路。硅膜片用一個(gè)圓形硅杯固定,雙方有兩個(gè)壓力腔,一個(gè)和被測壓力相持續的高壓腔,另一個(gè)是低壓腔,接參考壓力,通常和壓大氣雷同。當存在壓差時(shí),膜片產(chǎn)生變形,使兩對電阻的阻值發(fā)生變更,電橋落空平均,其輸出電壓反映膜片雙方蒙受的壓差大小。
現在,壓力傳感器是典范的汽車(chē)傳感器,它寬泛地使用在汽車(chē)上。隨后,它被寬泛地用于高壓場(chǎng)所,如懸掛壓力探測和空調制冷壓力探測?,F在,壓力傳感器更進(jìn)一步地擴大到了高壓場(chǎng)所,如汽油焚燒放射和柴油共軌焚燒放射系統。鮮明,壓力傳感器在汽車(chē)上有廣闊的開(kāi)展前景。